Onlangs kwam de EtherCAT Technology Worlking Group voor de halfgeleiderindustrie bij elkaar om een nieuwe specificaties voor een aantal apparaattypen goed te keuren. Ook werd een nieuwe werkgroep voor het opstellen van een EtherCAT standaard voor optische emissiespectroscopie opgericht.
Het doel van de in 2011 opgerichte werkgroep EtherCAT Technology Group is het ontwikkelen van EtherCAT-standaarden voor de halfgeleiderindustrie. Terwijl de basistechnologie -dat wil zeggen het “hoe” van de communicatie – natuurlijk onveranderd blijft, definiëren de apparaatprofielen het “wat” voor industriespecifieke apparaten zoals massflowcontrollers, hoogvacuümpompen, plasma- en hoogfrequente generatoren. Hiertoe komt de werkgroep twee keer per jaar bijeen voor meerdaagse vergaderingen. De bijeenkomsten, die sinds de pandemie afwisselend in Silicon Valley in Californië en online plaatsvinden, worden regelmatig bijgewoond door 50-80 experts. Hiertoe behoren zowel leveranciers van apparaten als fabrikanten van productieapparatuur voor halfgeleiders. Hun klanten – de chipfabrikanten – zijn ook regelmatig aanwezig. De werkgroep bestrijkt dus de hele toeleveringsketen en zorgt ervoor dat de ontwikkelde specificaties voldoen aan de eisen van zowel leveranciers als hun klanten.
Tijdens de 24e bijeenkomst, die onlangs werd gehouden, werden vier profielspecificaties goedgekeurd, waarmee het werk van de overeenkomstige taakgroepen met succes werd afgerond: een verscheidenheid aan profielen voor vloeistofstroomregelaars, voor temperatuursensoren voor waferverwerkingskamers, voor sensoren voor spanning en stroom frequentieanalyse en voor speciale procesregelkleppen. Tijdens deze bijeenkomst werd ook een nieuwe taakgroep gelanceerd met als doel het profiel voor optische emissiespectroscopie (OES) te ontwikkelen. Dit profiel zal echt profiteren van het efficiënte gebruik van de bandbreedte door het EtherCAT-protocol: per communicatiecyclus moeten tot 500 bytes aan cyclische ruwe gegevens naar de controller worden verzonden. De serie speciale EtherCAT-apparaatprofielen voor de halfgeleiderindustrie is daarmee uitgegroeid tot in totaal 24 specificaties.
De experts zullen elkaar opnieuw persoonlijk ontmoeten tijdens de 25e jubileumbijeenkomst in Silicon Valley in mei 2024, waar de werkgroep zal worden ontvangen door twee industriegiganten, Applied Materials en LAM Research. Regelmatig persoonlijk contact helpt bij het behouden en opbouwen van het vertrouwen en de samenwerking die TWG Semi gedurende vele jaren heeft gekenmerkt.
