Technologie nieuws

Toeleverketen voor cruciale module

In de race naar steeds snellere en krachtigere chips biedt de elektronenbundel-lithografie van Mapper Lithography in Delft een veelbelovende productie-technologie. De regio Twente speelt een hoofdrol bij de ontwikkeling en productie van de uiterst geavanceerde machines van Mapper. Me-chatronisch ontwerpbureau Demcon stond mede aan de wieg van een cruciale module, het Wafer Positio-ning System. Onlangs ontving het bedrijf een order voor herontwerp en upgrading van de module en de aansluitende productie van vier stuks – en komend voorjaar moet al worden geleverd.

Een essentiële stap in de chipfabricage is het belichten van siliciumschijven (wafers) met de extreem fijn gedetailleerde patronen voor de schakelingen van moderne chips. Nederland is goed in het bouwen van de complexe en kostbare machines voor dit zogeheten lithografieproces op basis van licht.

Mapper Lithography, een spin-off van de Technische Universiteit Delft, heeft de afgelopen tien jaar gewerkt aan een alternatieve lithografietechnologie, die sneller en goedkoper belooft te worden. Dit alternatief werkt met elektronenbundels die patronen op het silicium schrijven. De eerste testmachines staan bij geselecteerde klanten en binnen afzienbare tijd wil Mapper met commerciële systemen op de markt verschijnen.

Clean room
Een cruciale module van de Mapper-machine is het Wafer Positioning System (WPS), dat de wafers met extreme nauwkeurigheid in de elek-tronenbundel moet positioneren. Demcon is al ruim vier jaar betrokken bij de ontwikkeling van deze module en vervolgens de productie ervan. Het bedrijf investeerde er zelfs voor in een clean room, want dergelijke nauwkeurige systemen moeten van zichzelf schoon zijn; elk minuscuul stofje kan het patroon voor een chip bederven.

Nu een tweetal testmachines wordt beproefd, is de tijd rijp voor upgrading naar productiemachines. Demcon kreeg onlangs opdracht om het WPS te herontwerpen, voor een hogere doorvoersnelheid van de wafers en voor een beweging (van de zogeheten lange slag) in twee richtingen; in de eerste versie was dit in slechts één richting.

Alle disciplines
Technisch is het herontwerp een hele uitdaging, want het positioneersysteem moet met een nauwkeurigheid van nanometers de wafers kunnen positio-neren. Demcon moet er al zijn mechatronische disciplines – van systeem engineering en mechanica tot elektronica en software – voor aanspreken. Ook moet men een slimme test bedenken om te laten zien dat de module aan de gevraagde eisen voldoet. Mapper wil volgend voorjaar de eerste exemplaren van de machine V2 gereed hebben.

Bijkomende opgave in het (her)ontwerp is de magnetische afscherming. Voor het laten bewegen van het WPS worden elektromotoren gebruikt die permanente magneten bevatten en dus een magnetisch veld afgeven. Dat magneetveld kan de elektronenbundel verstoren, waardoor er bij het schrijven van de patronen fouten worden gemaakt. Om dat te voorkomen, heeft Demcon een speciale afscherming ontworpen die is opgebouwd uit lagen van zogeheten mu-metaal. Die lagen worden eerst met een laser uit plaat gesneden, vervolgens gewalst en met laserlassen aan elkaar bevestigd. Het geheel moet worden uitgegloeid om alle mechanische spanning eruit te halen.

Twentse toelevering
Alle componenten voor de WPS-module moeten van de hoogste kwaliteit zijn en in korte tijd worden geleverd. Vanwege die combinatie van kwaliteit en tijdsdruk deed Demcon een beroep op een groot aantal toeleverbedrijven in de regio. Norma, GSM en RM Precision verspanen mechanische delen, Machinefabriek Westerhof verzorgt nauwkeurig draaiwerk dat vervolgens bij Speciaal Slijperij Van Dijk op maat wordt geslepen. Het lasersnijden en laserlassen van de magnetische afscherming gebeurt bij Demar Laser, het uitgloeien bij Pontus. Voor oppervlaktebehandeling is Galvano of Jansen Chroom het adres.

De door Demcon ontwikkelde versterkers voor aansturing van de motoren worden door Elect gebouwd, terwijl Hortec protoprinten leverde. Lineaire motoren voor de korte-slagbeweging komen van Tecnotion. Metingen van de mechanische delen ter controle van de strenge specificaties vinden plaats in het Nederlands Meetinstituut NMi.

  • Eplan Emanage

    Eplan presenteert nieuwe volledige versie van eManage

    De cloud gebaseerde Eplan eManage software verbindt OEM'ers, system integrators, machinebouwers, paneelbouwers en operators (foto: Eplan)Met eManage Free kunnen gebruikers Eplan Platform projecten uploaden, delen en beheren in de cloud-omgeving. Eplan presenteert nu de volledige versie van de software, die aanzienlijk meer toegevoegde waarde biedt.… Lees verder →

  • Maarten Bulsink MA-IT

    MA-IT opent Automation Campus in Eindhoven

    "Onze klanten in de regio Eindhoven willen graag engineers bij ons opleiden," aldus Maarten Bulsink van MA-IT (foto's: MA-IT)Na zes jaar gevestigd te zijn geweest in Son, zal vanaf 1 februari MA-IT MyAutomation te vinden zijn in Eindhoven. Op deze nieuwe vestiging zijn niet alleen… Lees verder →

  • Apex Dynamics GL

    GL-Serie speciaal ontwikkeld voor AGV toepassingen

    De GL-serie is speciaal ontwikkeld voor AGV toepassingen (foto: Apex Dynamics)Als gevolg van automatiseringen in logistiek of productieomgevingen krijgt Apex Dynamics steeds meer vragen over tandwielkasten voor AGV toepassingen. Dat wil zeggen tandwielkasten voor Automatisch Geleide Voertuigen, oftewel mobiele robots, die vaak worden ingezet voor… Lees verder →

  • Nieuw overzicht technische webinars om bij te blijven

    Aandrijftechniek blijft een overzicht plaatsen van technische webinars vanuit de industrie. Ideaal voor engineers en technici die thuis werken, maar ook voor diegenen die op kantoor of in de fabriek aan het werk zijn en bij willen scholen op hun vakgebied. Thuiswerken is voor velen… Lees verder →

  • Draadloze roaming

    Draadloze roaming: meer bereik voor draadloze bediening

    Het BWH 001 basisstation van Sigmatek maakt draadloze bediening en bewaking van systemen mogelijk met behulp van "Wireless Roaming". (Foto: SigmaControl)Om operators in staat te stellen zich nog vrijer langs de productielijn te bewegen, heeft Sigmatek de “Wireless Roaming Feature” voor draadloze HMI’s ontwikkeld. Draadloze… Lees verder →

  • Slimme radarsensoren voor ruige omgevingen

    Radarsensoren voor ruige omgevingen

    De DR-M30-IOL voor afstandsmeting in de zwaarste omgevingen bereikt een schokbestendigheid van 100 g en beschermingsklassen tot IP69K. (Foto: Turck)Turck presenteert robuuste radarsensoren. De DR-M30-IOL zijn geschikt voor zware toepassingen zoals afstandsmeting in havenfaciliteiten en fabrieksautomatisering. De robuuste 122 GHz-apparaten met beschermingsklassen tot IP69K bereiken… Lees verder →

  • Het wereldwijde elektriciteitsverbruik kan eenvoudig met 10% omlaag

    Het wereldwijde elektriciteitsverbruik kan eenvoudig met 10% omlaag

    De elektrische motoren zijn verantwoordelijk voor meer dan 45% van het elektriciteitgebruik in de wereld. En met een groeiende bevolking en economie, zal het aantal motoren in 2040 zijn verdubbeld. (Foto: ABB)Naar aanleiding van de COP26-klimaattop heeft het Internationaal Energie Agentschap (IEA) het rapport Energie-efficiëntie… Lees verder →

x
Mis niet langer het laatste nieuws

Schrijf u nu in voor onze nieuwsbrief.

Inschrijven