De verdere ontwikkeling van plasmabronnen, die bij atmosferische druk werken, openen nieuwe toepassingsgebieden voor de plasmatechniek. De potentie van de technologie op het gebied van emissie vermindering is met succes getest bij voorbeelden van perfluor-verbindingen uit de halfgeleiderindustrie. De efficiëntie van de vermindering van de emissies is, in vergelijking tot thermische processen die tot nog toe werden gebruikt voor de reiniging, indrukwekkend en biedt nieuwe mogelijkheden om het energiegebruik op het gebied van milieutechnologie te reduceren.
De milieuwetgeving inzake de uitstoot van emissies van gevaarlijke stoffen is de laatste jaren verder aangescherpt. Als gevolg hiervan hebben veel ondernemingen thermische naverbrandingsinstallaties of andere vormen van luchtreinigingsinstallaties geïnstalleerd.
Plasma decompositie
Een eerder alleen in de halfgeleiderindustrie gehanteerde methode voor emissiebeperking is de plasma decompositie, waarbij de uitlaatgassen met een soort plasmabrander worden omgezet. Door de juiste toevoegingen is het mogelijk hierbij op een chemische manier reacties met geringere energietoevoer dan bij de thermische naverbranding te realiseren.
Emissie vermindering vindt plaats in het plasma (afbeelding: Innovent)
Binnen een project werd de mogelijkheid voor het gebruik van deze technologie bij de reiniging van fluorhoudende gassen onderzocht. De resultaten werden als volgt kort beschreven: er werd een plasmabrander ontwikkeld als plasma chemische reactor voor het ontleden van voor het milieu schadelijke emissies uit de halfgeleiderindustrie, die werkt met een hoge omzettingsgraad bij een laag energieverbruik.
Bijna 100% effectief
De optimalisering van de efficiency werd uitgevoerd met het gas tetrafluormethaan, dat wordt gebruikt in de halfgeleiderindustrie bij etsprocessen. Het gas reageert in het plasma tot kooldioxide en fluorwaterstof. Door de toevoeging van een actief component kon de omzetting van meer dan 98% worden aangetoond.
Het gebruikte magnetronvermogen lag daarbij op 3 kW. Als ander relevant proces gas werd stikstof tri-fluoride onderzocht en werden de eerste experimenten voor de omzetting uitgevoerd. Die toonden een zeer hoge efficiëntie van bijna 100%.
Deze veelbelovende resultaten geven aan, wat het potentieel is in deze technologie en dat het zinvol is om deze techniek ook voor andere processen te ontwikkelen. Deze technologie staat ter beschikking voor meerdere interessante uitlaatgassystemen en kan verder worden ontwikkeld bij Innovent.
