Het wetenschappelijk onderzoeksinstituut voor nanotechnologie van de Universiteit Twente (Mesa+) beschikt sinds kort, als eerste in Europa, over nanoimprint lithografie apparatuur. Het is de uit Amerika afkomstige Molecular Imprints Imprio 55 UV-imprint machine. Hiermee worden prints gemaakt van vloeibaar polymeer materiaal, bij lage temperatuur, zonder druk. De print wordt belicht met UV-licht. Voordeel hiervan is dat bestaande structuren preciezer en nauwkeuriger kunnen worden uitgericht en niet vervormen onder druk. Men is niet gebonden aan de golflengte van licht, zoals bij fotolithografie het geval is.
Deze basistechniek voor nanostructurering is een techniek in opkomst. Het vindt toepassingen bij chipstructuren, nanopilaartjes in microkanalen, optische schakelingen, nanofiltratie en het scheiden van moleculen. Uitgangspunt is de master, deze moet transparant zijn en niet groter dan 2 bij 2 cm. Via de imprint lithografie kan binnen één minuut een replica gemaakt worden. Bij grote wafers wordt elk veld apart belicht.
De replica’s kunnen worden gebruikt om te testen. Blijkt er iets onjuist te zijn uit de test, dan is het eenvoudig om snel opnieuw te etsen, te reproduceren en te testen. Dit biedt de mogelijkheid om het wetenschappelijk onderzoek te versnellen.
De machine
De Molecular Imprints Imprio 55 UV-imprint machine is ongeveer 3 à 4 jaar geleden ontwikkeld in Amerika door vakmensen uit de chemie. Het apparaat beschikt over verschillende processen met gegarandeerde kwalificaties.
De machine staat in de Cleanroom van het Mesa+ onderzoeksinstituut. Medewerkers van het Mesa+ onderzoeksinstituut testen momenteel de beschikbare processen.
Demodag
Op 27 september 2006 is er een introductie en demodag. De machine is zowel voor wetenschappers en bedrijven binnen als buiten de universiteit beschikbaar. Wel moet de gebruiker vooraf een cursus volgen.
Financiële middelen voor de aanschaf van deze machine zijn beschikbaar gesteld door Nanoned. Het Nanoned netwerk, een nationaal programma voor nanotechnologie, moet ertoe leiden dat de dreigende achterstand wordt voorkomen en dat het toekomstpotentieel van nanotechnologie als bron van economische groei in een hoogproductieve, duurzame kenniseconomie voor Nederland wordt behouden
