Sensoren nieuws

Optische encoder voor vacuüm

De Mercury II 6000V van MicroE Systems (verte-genwoordigd door Sentech) is een optische encoder die nanometerresolutie biedt in hoogvacuüm (tot 10-8 torr) omgevingen. Kenmerkend zijn de compacte afmetingen (de encoder is 8,2 mm hoog) en de nauwkeurigheid van 1,2 nm. Daarnaast voorzien ze in lineaire of roterende schalen met ingebouwde index en limieten. De verschillende eigenschappen maken de componenten geschikt voor onder meer SEM en TEM, halfgeleider-processing en metrologie, focus- en diafragmacontrolemechanismen en XY-stadia voor vacuüm omgevingen.
 
De encoder is geschikt voor zowel lineaire als roterende toepassingen en is daarnaast aan te passen door bijvoorbeeld de outputresolutie te program-meren. Voor hogesnelheids toepassingen biedt hij een snelheid van 1 m/s bij een resolutie van 20 nm. De warmteproductie bedraagt 250 mW, wat belangrijk is voor toepassingen bij positioneringen op nanometer-niveau.
 
De encoders zijn beschikbaar in een groot aantal formaten, prestatie- en waarde-opties. Voorbeelden zijn lineaire, roterende, digitale, analoge, programmeerbare, hoognauwkeurige, miniatuur-, economisch montage op printplaten en modellen die geschikt zijn voor vacuümtoepassingen. 
x
Mis niet langer het laatste nieuws

Schrijf u nu in voor onze nieuwsbrief.

Inschrijven