De QNP-serie piëzo nano positioneertafels van Aerotech omvat onder meer de QNP-L linear, de QNP-XY en de QNP-Z. De QNP-Z uitvoering biedt een resolutie tot 0,15 nm, een lineariteit tot 0,007% en een herhalingsnauwkeurigheid tot 1 nm. Dit in combinatie met de goede dynamische eigenschappen (ten aanzien van de resonantie frequentie en stijfheid) maakt de piëzo positioneertafel geschikt voor de meest veeleisende toepassingen; variërend van microscopie tot optiek uitrichting.
De piëzo tafels zijn beschikbaar met diverse verplaatsingen van 100 μm – 600 μm, feedback opties en tevens in vacuümuitvoeringen. Door toepassing van eindige elementen methode is bovendien een goede stijfheid en resonantiefrequentie (tot 1050 Hz) gerealiseerd waarmee een hoge procesdoorloop en een snelle closed loop respons is gerealiseerd.
QNP piëzo positioneertafel
Alle QNP piëzo positioneertafels bieden een optionele closed-loop terugkoppeling door gebruik te maken van een capacitieve sensor voor sub nanometer resolutie en een hoge lineariteit. De capacitieve sensoren meten direct de uitgang van de positioneerwagen waarmee een hoge (herhalings)nauwkeurigheid is te realiseren.
Door de QNP piëzo positioneertafel te combineren met controllers en drives uit de Q-serie is het mogelijk om tot op sub nanometer niveau te positioneren. Bovendien is hiermee een hoge positiestabiliteit (jitter) te bereiken. Software opties zoals Dynamic Controls Toolbox en Motion Designer omvatten eenvoudig te gebruiken hulpmiddelen zoals Learning Control, Harmonic Cancellation en Command Shaping. Hiermee zijn fouten beter op te sporen en snellere ‘step-and-settle’ tijden te realiseren
Ontwerpflexibiliteit
De QNP piëzo positioneertafels zijn beschikbaar met capaciteit sensor feedback of zonder feedback (open loop). De laatste biedt een goedkope oplossing voor toepassingen waar compacte afmetingen, hoge dynamiek en sub-nanometer positioneer resoluties zijn vereist terwijl absolute positioneer nauwkeurigheid en herhalingsnauwkeurigheid minder belangrijk zijn. Open loop ontwerpen zijn tevens te gebruiken wanneer de piëzo positie wordt aangestuurd via een externe feedback bron zoals een vision systeem of een interferometer.
