Elektrische aandrijftechniek nieuws

Nano positioneertafel

Nano positioneertafel van Aerotech

De QNP piëzo nanopositioneertafels van Aerotech zijn specifiek ontwikkeld voor hoognauwkeurige positioneertoepassingen variërend van microscopie tot optische uitlijning. Hiertoe bieden de tafels een resolutie tot 0,15 nm, een lineariteit tot 0.007% en een herhalingsnauwkeurigheid tot 2 nm. De toepasbaarheid van de positioneertafels is veelzijdig door mogelijke verplaatsingen van 100 µm tot 600 μm, feedback opties en speciale vacuümuitvoeringen.

De diverse eigenschappen van de QNP piëzo positioneertafels hangen samen met hoge stijfheid van de constructie die onder meer bereikt is door toepassing van de finite elementen methode. Hiermee loopt de resonantiefrequentie tot 885 Hz. Ook de compacte bouw en lage te verplaatsen massa ondersteunen een nauwkeurige werking en dynamische eigenschappen.

Closed en open loop

Alle positioneertafels uit de QNP serie bieden een optionele closed loop feedback, gebruikmakend van een capacitieve sensor. Deze sensor meet direct de positie van de loopslede en draagt zo eveneens bij aan een hoge (herhalings)nauwkeurigheid.

De open loop versie is geschikt voor toepassingen waar een absolute positioneer- en herhalingsnauwkeurigheid niet zijn vereist maar wel waarde wordt gehecht aan compacte afmetingen, een hoge dynamiek en sub-nanometer resoluties.

Besturing positioneertafel

Door de positioneertafels te combineren met de Q-serie controllers en drives van Aerotech, is een positioneerresolutie en stabiliteit (jitter) in het sub nanometer bereik te realiseren. Software opties zoals Dynamic Controls Toolbox en Motion Designer packages voorzien de gebruiker in verschillende eenvoudig te gebruiken tools waaronder Learning Control, Harmonic Cancellation en Command Shaping.

x
Mis niet langer het laatste nieuws

Schrijf u nu in voor onze nieuwsbrief.

Inschrijven