Mechanische aandrijftechniek nieuws

Luchtgelagerde XY-tafel

XY tafel van Aerotech

Onder de naam Planar HDX introduceert Aerotech een vlakke, luchtgelagerde XY-tafel. Bij de ontwikkeling is gebruik gemaakt van een siliciumcarbide structuur en geoptimaliseerde luchtlagering compensatietechnieken. Dit in het kader van de dynamische eigenschappen van de tafel en het behoud van de geometrische eigenschappen en positioneringsnauwkeurigheid.

De siliciumcarbide keramische elementen hebben een specifieke stijfheid die vijf maal hoger is dan van aluminium, bij een thermische expansiecoëfficiënt die juist vijf maal lager ligt. De toepassing van dit materiaal in combinatie met FEA (Eindige Elementen Analyse) resulteert in een geoptimaliseerde structuur waarmee snelheden tot 1,5 m/s zijn te realiseren. De maximale versnelling bedraagt tot 5 g bij een maximale belasting van 20 kg.

De luchtlagering compensatiestrategie leidt tot een hogere stijfheid en belasting, hetgeen voordelen biedt voor hoogdynamische applicaties. Door gebruik te maken van ‘air on air’ voorbelasting in kritische lagerelementen zijn bovendien de omschakel- en insteltijden verbeterd ten opzichte van vacuüm voorbelaste ontwerpen.

Isolatiesystemen XY tafel

De Planar HDX is beschikbaar met zowel passieve als actieve isolatiesystemen. Extra assen zoals een Z-tip-tilt of Z-theta ontwerpen zijn beschikbaar evenals waferlaad/ontlaad mechanismen en houders. Teven voorziet het bedrijf naar wens in machine gelaste onderdelen en complexe granieten basisstructuren of behuizingen. Feedback opties bestaan in de vorm van een glasschaal of interferometer.

Diverse besturingsmogelijkheden vereenvoudigen de installatie van de XY-tafel. De ETM (Enhanced Throughput Module) optie ondersteunt de gebruiker in het verbeteren van de positioneerprestaties van hoogdynamische motion systemen.

x
Mis niet langer het laatste nieuws

Schrijf u nu in voor onze nieuwsbrief.

Inschrijven