Ga naar hoofdinhoud

Afdichting voor halfgeleiderindustrie

Trelleborg Sealing Solutions introduceert de Turcon Variseal PS, een met PEEK (Polyetheretherketon) versterkte afdichting. De nieuwe afdichting wordt gekenmerkt door een uiterst geringe uitloging bij natte verwerkingstoepassingen in de halfgeleiderindustrie. Het is een 100% polymeer product zonder metalen delen.

In een veeleisende bedrijfstak als de halfgeleiderindustrie worden traditionele afdichtingsmethoden zwaar op de proef gesteld. Elk metaal, ongeacht zijn samenstelling, kan chemisch worden aangetast. Als dat het geval is, kan de levensduur van de afdichting drastisch afnemen. Het belangrijkste probleem dat zich voordoet wanneer metaal door een chemische stof wordt aangetast, is dat er verontreiniging ontstaat. Dat is onacceptabel in de gevoelige processen die plaatsvinden in de halfgeleiderindustrie.

Geringe uitloging

De Turcon Variseal is een doorontwikkeling van de traditionele metalen veergeactiveerde Turcon Variseal. Het nieuwe product maakt gebruik van een Turcon omhulling om zijn afdichtend vermogen te behouden. De afdichtende werking wordt verkregen door gebruikmaking van een polymeer op basis van PEEK.

Door gebruik te maken van een PEEK-veer in plaats van een metalen veer wordt het risico van uitloging van ionen drastisch beperkt. Ofschoon het tot nu toe toegepaste perfluorelastomeer (FFKM) uitstekend voldoet in een aantal halfgeleidertoepassingen, is de combinatie van Turcon PTFE en PEEK volgens de fabrikant superieur bij de natte verwerking. Bij een vergelijkende test tussen de bekende FFKM’s en PTFE werden zelfs bij de hoogzuivere FFKM uitvoeringen meer dan 18.000 ppb kationen waargenomen, tegen minder dan 2.000 ppb bij de Variseal PS.

De Turcon Variseal PS is bestand tegen een maximale bedrijfstemperatuur van 80 ºC, tegen nagenoeg alle chemische stoffen en tegen een druk van maximaal 400 bar. De Turcon Variseal PS is leverbaar in afmetingen variërend van 3 mm tot 2300 m en past zowel in standaard O-ringgroeven als op maat gemaakte O-ringgroeven. Hierdoor is uitwisseling eenvoudig.

x
Mis niet langer het laatste nieuws

Schrijf u nu in voor onze nieuwsbrief.

Inschrijven