Semiconductor machinefabrikant ASML neemt het Taiwanese bedrijf Hermes Microvision Inc (HMI) over voor een bedrag van ruim 2,75 miljard euro. Beide bedrijven zijn marktleiders op hun gebied en werken al jaren samen.
Met de aankoop voegt ASML technologie aan zijn portfolio toe waarmee nog kleinere halfgeleiders gemaakt kunnen worden, kleiner dan 10 nanometer en de integratie van 3D technieken. De apparatuur die HMI bouwt, controleert onder meer of de stappen die in het productieproces van de halfgeleiders zijn gemaakt naar behoren zijn voltooid.
De e-beam meettechniek van HMI kan zeer nauwkeurige informatie over de patroonvorming geven, die ASML kan gebruiken voor het optimaliseren van haar eigen design- en procesmodellen, toch een van de speerpunten van ASML’s succesvolle lithografie techniek. Daartegenover kunnen deze modellen worden gebruikt om de optische en e-beam meettechnologie te begeleiden in een kostenefficiënte manier voor de meest relevante kenmerken van het chip-ontwerp. Uiteindelijk zal deze informatie samen met de ASML modellering de mogelijkheid bieden om de scanner-instellingen van de ASML machines aan te passen voor een optimale werking in de chipfabrieken van klanten. Daarom past deze transactie zeer goed binnen de holistic lithografie strategie van ASML.
Extreme Ultraviolet
Bovendien heeft HMI e-beam (elektronenstraal) inspectiesystemen ontwikkeld die speciaal zijn ontworpen voor mask- fabrikanten om patroonfouten te herkennen in het Extreme Ultraviolet (EUV) gebied. EUV is een technologie die chipfabrikanten in staat stelt tegen gelijke kosten kleinere en krachtigere chips te maken. Deze techniek zal de lancering ondersteunen van het ASML EUV platform, ontwikkeld voor volumeproductie van halfgeleiders vanaf 2018. Voor de verdere ontwikkeling van EUV is de overname een belangrijke stap voor ASML, vanwege de meet- en regeltechniek die HMI in huis heeft. ”EUV gaat eraan komen. We moeten de volgende stap maken. De volgende stap in meet- en regeltechniek bij wat we al kunnen, is HMI”, zei ASML-topman Peter Wennink. ASML financiert de deal deels in contanten, deels via eigen aandelen en voor een deel door de uitgifte van nieuwe aandelen. Naar verwachting wordt de transactie in het vierde kwartaal afgerond, na goedkeuring van toezichthouders in onder meer Taiwan en de Verenigde Staten.
