Door de miniaturiseringstrend worden veel technologieën steeds kleiner. Daarnaast worden meer nieuwe materialen ontwikkeld met steeds complexere structuren. Daardoor wordt het lokaliseren van defecten moeilijker. High-end toepassingen in elektronenmicroscopen, evenals eenvoudiger toepassingen met lichtmicroscopen, vereisen betrouwbare apparatuur met hoge precisie voor defectanalyse en elektrische karakterisering.
Met zijn Nanoprober biedt SmarAct Metrology complete oplossingen die specifiek voor dit doel zijn ontworpen – beginnend met de Smarprobe Etch om wolfraamtips met de kleinste tipradius van 8 nm te produceren, tot de integratie van de Smarprobe Prober, die direct in een bestaande microscoop bij de klant kan worden geïnstalleerd.
Positioneringstechnologie
Het Smarprobe bewegingssysteem bestaat uit maximaal acht manipulatoren, waaronder een meetpunthouder en een monstertrap, elk gebaseerd op de nieuwste SmarAct positioneringstechnologie. Het bewegingssysteem is closed-loop gestuurd, waardoor zeer nauwkeurige en stabiele positionering met een resolutie van 1 nm mogelijk is. Het monsteroppervlak van 30 x 30 mm biedt voldoende ruimte om meerdere monsters direct te plaatsen. De actieve temperatuurregeling van het systeem maakt een stabiel elektrisch contact mogelijk van meerdere meetpunten op een sonde, zoals single transistoren van 5-nanometer technologie, zelfs onder niet-stabiele thermische omgevingscondities.
Software
De meetnaalden en het monster kunnen automatisch worden genavigeerd via absolute waarden (CAD) of intuïtief via “point-and-click” in het microscoopbeeld. Om het landen van de sondes op het monster te vereenvoudigen, maakt de “Advanced Probe Holder” automatisch contact mogelijk op elk materiaal, ongeacht de geleidbaarheid. Dit maakt automatisering mogelijk van klantspecifieke bewegingen en meetreeksen, met behulp van Python scripting binnen de SmarProbe software. De software omvat de besturing van een parameter analyzer. Daarnaast heeft elke sonde een geïntegreerde ruisarme stroomversterker voor snelle en ruisarme meting van stromen, die bijvoorbeeld kan worden gebruikt voor beeldvorming van elektronenbundelabsorptie (EBAC).
