Ga naar hoofdinhoud

EtherCAT standaard voor halfgeleiderindustrie

De EtherCAT Technology Group (ETG) heeft een apparatenstandaard (ETG.5003-1) en negen specifieke profielen vrijgegeven die een uitgangspunt bieden voor een nieuwe generatie tools in de halfgeleiderindustrie. De nieuwe documenten moeten de weg vrijmaken voor nieuwe ontwikkelingen binnen deze tak van industrie.

De release van het nieuwe apparaatprofielen verzekert dat EtherCAT niet langer alleen kan worden gebruikt voor motion control, I/O, sensoren en gateways in machines voor de productie van halfgeleiders. Nu kunnen ook voor deze industrie specifieke apparaten zoals massastroomregelaars en vacuümkleppen direct worden geïmplementeerd in het EtherCAT-systeem.

Sinds de release van de apparaatprofielen die zijn ontwikkeld in 2012, heeft de Technical Working Group (foto) ingespeeld op vragen van machinebouwers om het creëren van voor deze industrie specifieke apparaten in EtherCAT mogelijk te maken.

De verwachting is dat EtherAT straks zal worden teruggevonden in bijna alle instrumenten, op zijn laatst wanneer de 450 mm wafers als standaard voor alle machines voor de productie van halfgeleiders is geaccepteerd.

ETG.5003-1
Het nieuwe profiel ETG.5003-1 (Common Device Profile = CDP) beschrijft de algemene eisen voor apparaten die zijn gepubliceerd binnen de serie specificaties ETG.5003. Op dit moment dat het gaat om negen verschillende typen apparaten die zijn gedefinieerd in de zogenaamde Specific Device Profiles (SDP). Samen met de CDP vormen ze het uitgangspunt voor een nieuwe generatie apparaten die in de meer geavanceerde machines van de toekomst zullen worden ontworpen.

Vanuit het standpunt van EtherCAT zijn zelfs apparaten van verschillende fabrikanten gelijkwaardig met betrekking tot hun datastructuren en synchronisatiemodes. Dit maakt vervanging en de handling gemakkelijker en beduidend gemakkelijker voor producenten van gereedschap. Bovendien zullen voor de industrie specifieke apparaten een betere ‘look and feel’ ontstaan.

Dat de profielen in een relatief korte tijd werden gerealiseerd, komt mede door de sterke betrokkenheid van de halfgeleiderindustrie. Bedrijven als Applied Materials, Lam Research, Tokyo Electron namen niet alleen actief deel aan het specificatieproces, maar moedigden hun leveranciers aan om deel te nemen aan de ETG Semiconductor Technical Work Group.

x
Mis niet langer het laatste nieuws

Schrijf u nu in voor onze nieuwsbrief.

Inschrijven